北京亚科晨旭科技有限公司

　　Bruker公司的AFM具有多项专利技术，以其的性能广泛应用于科研和工业界各领域

　　Dimension FastScanTM 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），在不损失Dimension® Icon®超高的分辨率和的仪器性能前提下，限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得高质量数据的时间,是世界上扫描速度快的原子力显微镜。

　　应用：

　　应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。

　　原理：

　　将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。

　　原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。

　　特征：

　　?高效率

　　?在空气或液体中成像速度是原来速度的 100 倍，自动激光调节和检测器调节，智能进针，大大缩短了实验时间。

　　?自动测量软件和高速扫描系统完美结合，大幅提高了实验数据的可信度和可重复性。

　　?高分辨率

　　?FastScan 的力控制模式提高图像分辨率的同时，延长了探针的使用寿命。扫描速度 20Hz 时仍能获得高质量的 TappingModeTM图像，扫描速度 6Hz 仍能获得高质量的ScanAsyst 图像。

　　?低噪音，温度补偿传感器展现出亚埃级的噪音水平。

　　?在任何样品上均有表现

　　?闭环控制的 Icon和 FastScan扫描管极大地降低了 Z方向噪音，使它们 Z 方向的噪音水平分别低于 30pm 和 40 pm，具有极低的热漂移率，可得到超高分辨的真实图像。

　　?Fast Scan 可以对不同样品进行测量，保证高度从埃级到 100 多纳米的样品高精度无失真扫描

　　部分选择项：

　　参数：

　　X-Y扫描范围： 35μm x 35μm（典型值）, 30μm 小值）

　　Z扫描范围： ≥3um

　　纵向噪音水平： <40pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽高可达 625Hz）

　　X-Y 针尖速度： >2mm/S

　　(1% 轨迹误差)

　　Z 针尖速度: 12mm/S

　　X-Y噪声（闭环）： ≤0.20 nm RMS，标准成像带宽，(可达2.5 Hz)

　　Z噪声（闭环）： 30pm RMS，标准成像带宽，（可达625HZ）

　　XY 方向平坦度: ≤3nm

　　（30μm范围）

　　非线性参数（X-Y-Z）： <0.5%

　　样品尺寸和固定方式： 210mm直径，真空吸附，≤ 15mm厚

　　马达驱动样品台(X-Y 轴)： 180mm × 150mm可观测区域；单向 2μm重复

　　性；双向 3μm重复性

　　光学显微镜： 500万像素的数码相机;

　　130微米至1040um可视面积;

　　数码变焦和机动焦点

　　控制器： NanoScope V

　　工作台： 整合了所有控制器，符合物理和人体工学设计

　　隔振装置： 可选防震平台或隔音防震平台，气动

　　隔音装置： 可在连续85DBC环境下连续工作