北京亚科晨旭科技有限公司

　　SEMILAB-SE2000 全光谱椭偏测试平台

　　(Spectroscopic Ellipsometer Metrology Station)

　　产品描述

　　SE2000全光谱椭偏测试平台基于椭圆偏振测试技术，采用先进的旋转补偿器，结合光纤专li技术将偏振光信号传输至分段光谱优化的高分辨率单色仪或阵列式多通道摄谱仪，测得线偏振光经过样品反射后的偏振态变化情况，并通过样品光学模型的建立，计算出单层或多层薄膜结构的厚度、折射率和消光系数，实现、快速、稳定的宽光谱椭偏测试。

　　SE2000全光谱椭偏测试平台是Semilab针对产线和实验线推出的多功能高速测试平台。模块化的设计，可选配300mm样品台或350*450mm平板样品台，Robot上片系统，图形识别系统和数据通信系统，实现高速在线监控。在测试功能方面，可自由组合多种从190nm深紫外光谱至2400nm近红外光谱的探测器，并可拓展FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能，使SE2000成为光学和电学特性表征综合测试系统。

　　产品特点

　　业界第yi家光谱型椭偏仪测试设备厂商

　　业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准

　　业界宽测试光谱范围，选配190nm-25um，并可自动切换快速探测模式和高精度探测模式

　　配置实时对焦传感器，实现高速测量

　　选配Robot上片系统，图形识别系统和数据通信系统，实现在线监控

　　独特的样品台结构设计，优化固定大尺寸的柔性材料

　　模块化设计，可综合监控样品光学和电学特性

　　定期免费升级SOPRA材料数据库

　　开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单

　　主要应用

　　光伏行业：薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池

　　半导体行业：High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺

　　平板显示行业：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片

　　光电行业：光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶

　　主要技术指标

　　测试速度：＜1 sec （快速测试模式）

　　＜120 sec （高分辨率测试模式）

　　测量光谱分辨率：＜0.5nm@633nm（高分辨率测试模式）

　　＜0.8nm@633nm（快速测试模式）