北京亚科晨旭科技有限公司

　　聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

　　世界第yi个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3，提供了超高离子束束流（zui高束流为2μA），其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料，FERA3型仪器是一个不错的选择。

　　新一代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了zui新的技术优势，例如：改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快，带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统，内置的编程软件等。

　　FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求，其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为优xiu的分析工具。

　　现代电子光路

　　独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics?）设计提供了许多工作与显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

　　结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing?），可模拟和优化电子束

　　全自动的电子光路设置与合轴

　　成像速度快

　　使用3维电子束技术可获取实时立体图像

　　三维导航

　　高性能离子光路

　　高性能的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又精que

　　维修简单

　　现在保持电镜处在优xiu的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率zui大化，操作zui简化。

　　自动操作

　　电镜除了可以自动化设置外，还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。

　　用户界面友好的软件与软件工具

　　用户界面友好的操作系统基于Windows?平台，多用户和多语言操作界面

　　同时的FIB/SEM成像，易于操作

　　实时图像支持多窗口模式，可自定义实时图像参数

　　图像处理，报告生成，在线与离线图像处理

　　项目管理软件

　　内置的自动诊断（自检）

　　TCP/IP远程控制，网络操作与远程进入/诊断

　　免费升级软件

　　FERA3 GM

　　FERA3 GM是一款由计算机完全控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统 (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows?平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

　　FERA3 XM

　　FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统 (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows?平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

　　聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

　　FERA3 GM是一款由计算机完全控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows?平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

　　概述

　　软件标配：

　　测量

　　图象处理

　　3维扫描

　　硬度测量

　　多图像校准

　　对象区域

　　自动关机时间

　　公差

　　编程软件

　　定位

　　投影面积

　　EasySEMTM

　　选配：

　　根据实际配置和需求

　　技术规格

　　配件二次电子探头

　　背散射电子探头

　　In-Beam SE

　　In-Beam BSE

　　探针电流测量

　　压差式防碰撞报警装置

　　可观察样品室内部的红外线摄像头

　　TOP-SIMS

　　二次离子探头

　　等，各种配件可供选择

　　图片

　　其他

　　分析潜力

　　高亮度肖特基发射可获得高分辨率、高电流和低噪声的图像

　　选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像

　　三透镜大视野观察（Wide Field Optics?）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

　　结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing?）可模拟和进行束斑优化

　　成像速度快

　　低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像 （选配）

　　In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

　　全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

　　完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

　　由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵， 因而可以很快达到电镜的工作真空，电子枪的真空由离子泵维持

　　自动的电子光路设置和合轴

　　网络操作和内置的远程控制/诊断软件

　　3维电子束技术提供实时立体图像

　　在低真空模式下样品室真空可达到500Pa 用于观测不导电样品

　　独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

　　聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

　　聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

　　高束流下超高的铣削速度和的性能

　　FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

　　成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能

　　FERA3配置

　　FERA3 GMH

　　是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，在高真空模式下工作。

　　FERA3 GMU

　　是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。

　　聚焦离子束（Xe）扫描电镜 FERA

　　FERA3 XM是一款由计算机全控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows?平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

　　概述

　　软件

　　技术规格

　　配件

　　图片

　　其他

　　分析潜力

　　高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪声的图像

　　选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像

　　三透镜大视野观察（Wide Field Optics?）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

　　结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing?）可模拟和进行束斑优化

　　成像速度快

　　低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可获取高分辨率图像（选配）

　　In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

　　全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

　　完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

　　由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。

　　自动的电子光路设置和合轴

　　网络操作和内置的远程控制/诊断软件

　　3维电子束技术提供实时立体图像

　　低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品

　　独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

　　聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

　　聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

　　高束流下超高的铣削速度和的性能

　　FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

　　成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能

　　FERA3配置

　　FERA3 XMH

　　是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，在真空模式下工作。

　　FERA3 XMU

　　是一款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。